离子束溅射沉积

北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司原名为北京埃德万斯离子束技术研究所，成立于2001年，自主独立设计了离子束刻蚀设备和双离子束溅射沉积镀膜设备，其自主设计的考夫曼离子源稳定性≤±3%，镀膜均匀性≤±5%，工件台采用水冷控温系统，温度可以控制在5℃~25℃，可低温成膜。采用离子束溅射镀膜设备加工的薄膜附着力很强、均匀性好、致密度高，可合成新功能复合型薄膜。

北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司（以下简称“埃德万斯”）是国内着名的离子束技术者以及国内非硅微纳制造解决方案提供商。主要包含业务项目有成套离子束设备、非硅微纳米制造工艺综合服务等，离子束属于微纳加工技术的一种。面对包括各种新型合金、聚合物、功能陶瓷、超导、磁性材料等众多新型非硅材料在微纳制造领域不断应用所需的适配加工工艺，以及可满足小批量多样化无技术限制的定制化生产，目前虽已非常成熟的硅基半导体微电子技术已经无能为力。为了解决并适应这些新问题，以及为了弥补当前从微米级别的超精细加工与逐渐接近“摩尔定律”极限的ic技术之间的缺口，不断蕴生出各种新型微纳制造技术，这些技术有别于传统的硅基半导体微纳制造技术，因此人们将其概况为非硅微纳制造技术。面对非硅微纳制造技术不断向前发展的趋势，埃德万斯充分利用离子束这一优势技术，基于多年以来在非硅领域的工艺技术积累，意图在由新材料、新结构、新工艺不断涌现所带来的新一轮微纳制造产业变革的浪潮中发挥作用，以展现自己独有的技术实力。